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【威煦專文】高科技廠危害性化學品案例

高科技產業中因應產品的製造,往往需要使用許多化學品。大部分的化學品或反應生成物都具有相當的危害性。

這些化學品及反應物不慎洩漏,不僅造成人員身體不適,更可能會危害到生命安全。
發生意外的若是可燃性或自燃性的化學品,所造成生命及財產的損失更是不在話下。

因此本文會探討兩個常見的案例 (矽甲烷、TMAH)





⭐高科技廠常使用的化學品列表:
高科技廠常使用的化學品

參考資料:安衛中心-危害性化學品管理實務訓練



底下舉兩個常見的案例 (矽甲烷、TMAH) 來跟大家介紹:


【矽甲烷】


▶用途:

   製作面板、半導體、薄膜太陽能電池的化學原料
           

特色:
   矽甲烷燃點低,與空氣結合很容易就會起火。
   毒性低,除非瞬間大量吸入,才會對人體產生毒性影響。
     
案例一:矽甲烷鋼瓶外洩起火
   載運矽甲烷鋼瓶大貨車,在苗140縣道大迴轉,疑迴轉速度太過,造成鋼瓶鬆動碰撞外洩
   只能讓它燃燒完。灑水無法滅火,只能降溫冷卻鋼瓶,避免爆炸。

            
                  (資料來源:2017年5月25日蘋果日報)   
    參考影片:20170525【LIVE大現場】封路搶救!鋼瓶壞"矽甲烷"外洩 火燒車濃煙嚇人!|三立新聞台
                  (資料來源:2017年5月25日三立新聞台)



案例二:矽甲烷外洩起火
    氣體廠內有16支,各12公斤矽甲烷鋼瓶,1支外洩燃燒。
    由於氣體屬易燃物質,且有毒性。抵達現場趕緊灑水降溫,燃燒完需約1小時。
    其它鋼瓶沒受到影響。

         
                  (資料來源:2017年6月29日自由時報)

  


▶存放位置:

    矽甲烷應儲存於室外安全處所,可通風稀釋濃度,且旁有矮牆,以避免竄燒。
    如必須於室內儲存者,應置於有效通風換氣 之處所,使用時應置氣瓶櫃內。 

▶緊急應變流程:

矽甲烷氣體洩漏引發一般火災之應變流程圖

  參考資料:經濟部工業局98 年度「中小企業工作環境改善計畫」



【 氫氧化四甲基銨 (TMAH) 】


▶用途:

   液晶顯示器產業、半導體、光電產業中使用,主要在使用玻璃基板時的光顯影製程中做為顯影劑之用。又因其為極強的鹼性溶液(PH值高達13以上),可作為清潔晶圓之溶劑使用。 


特色:
    健康危害分成兩部分:
    1. OH- 基,強鹼與腐蝕性,會造成皮發及黏膜組織灼傷。
    2. TMA+ 基,類似毒螺類神經毒素,造成呼吸肌肉停止,心跳減緩,腦部缺氧死亡。

案例2007/2/16 高雄TMAH供應商,從事輸送管線檢修,發生與化學品接觸致死
   某陳姓員工發現無法將TMAH泵送至化學槽車,康姓領班察覺過濾系統異常,於是打開防護門查看。此時泵浦出口端管線90度彎管接頭突然破裂,導致TMAH噴濺到兩名員工全身。二人跑到沖身洗眼器沖水,但傷勢嚴重仍不治身亡。死因:呼吸道肺水腫、化學灼傷、化學性肺炎併急性呼吸衰竭。


▶建議濺處置:
到院前處理原則:依據症狀處理,目前並無有效解毒劑。 

1.  盡速脫除污染衣物。 

2. 使用敵氟靈噴劑:敵腐靈具有Amphoteric (兩性) 的特性, 可以中和OH-,並與TMA+結合,減緩TMA+滲入組織液中。 注意,敵腐靈與六氟靈或葡萄酸鈣皆不可通用。

3. 使用大量清水沖洗15分鐘(期間趕緊求救),並給予毛毯保溫。 

4. 給予氧氣使用。 

5. 監控生命徵象:(心跳、呼吸速率、體溫、血壓、意識)若呼吸 停止給予正壓呼吸器按壓;若心跳停止給予心肺復甦術(CPR) 或使用電擊器。 

6.立即送醫。

參考資料:國立中央大學微光電實驗室 實驗室安全衛生講習



▶災害防治對策
    1. 對氫氧化甲基銨溶液 (25%TMAH) 建立完整的安全資料表SDS,供勞工及使用廠商必要之安全衛生危害辨識及防護。
    2. 對於可能接觸TMAH運送、操作或廢棄物處理等工作人員,應加強毒性危害教育訓練。


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